公司介紹艾格斯瑞（成都）儀器設備有限公司成立于2020年。艾格斯瑞以仿真模擬體系為基礎，立足于研發(fā)、設計、制造X射線核心器件及部件，致力于為工業(yè)及科研客戶提供高效、可靠、先進的成套解決方案。主要產品包括微焦點X射線光源、X射線核心器件、X射線探測器、X射線仿真模擬軟件，廣泛應用于多種材料分析表征和基礎研究場景，如新能源材料及器件表征、半導體制程檢測、材料及芯片器件逆向工程、前沿材料研發(fā)、等離子體診
公司介紹
艾格斯瑞（成都）儀器設備有限公司成立于2020年。艾格斯瑞以仿真模擬體系為基礎，專注于研發(fā)、設計、制造X射線核心器件及部件，致力于為工業(yè)及科研客戶提供高效、可靠、先進的成套解決方案。
主要產品包括微焦點X射線光源、X射線核心器件、X射線探測器、X射線仿真模擬軟件，廣泛應用于多種材料分析表征和基礎研究場景，如新能源材料及器件表征、半導體制程檢測、材料及芯片器件逆向工程、前沿材料研發(fā)、等離子體診斷等。
產品介紹
SpotLight-P 多毛細管微焦點X射線光源結合了低功率x射線源和多毛細管X光透鏡，可提供高通量的X射線光束，廣泛應用于先進的材料分析。SpotLight-P 可提供幾種標準聚焦、微聚焦或準直光束配置，也可以針對特定應用進行定制。
特征優(yōu)勢
? 高性能光學整形組件：可輸出高品質X射線光束
? 聚焦輸出：最小可達8μm的輸出焦點尺寸
? 準直輸出：低至0.2°的輸出發(fā)散角
? 靈活的輸出光束選項：聚焦、準直、微聚焦三類選擇
? X射線管耦合多毛細管可產生兼具高亮度和小焦點尺寸的線束
? 水冷散熱，提高光管的安全性
? 內置X射線管的自動暖機/訓機程序
? 內置目標功率的自動緩升緩降曲線
? 內置自動化安全關機功能
? 內置自檢程序，確保設備的可靠性和操作的安全性
? 內置提高可靠性的故障報警和安全回路
規(guī)格參數
SpotLight-P光管通用參數
項目 | 指標 |
最高管電壓 | ≤50KV |
最高管電流 | ≤1mA |
可選靶材 | Cu/Mo/Rh/Ag/W（其它靶材可討論定制） |
冷卻方式 | 風冷+水冷 |
光管尺寸（含毛細管調節(jié)裝置） | 261mmx 186mmx 110mm |
重量（含毛細管和調節(jié)裝置） | 10kg |
聚焦型光源典型參數
工作距離（mm） | 10 | 60 | 100 | 150 | 200 | |
Cu靶 | 聚焦光斑尺寸 （μm, FWHM, Cu-Kα） | 50 | 250 |
300 | 450 | 500 |
輸出通量* （Cu-Kα, phs/s） | >1.1E9 | >5.4E9 | ＞8.4E9 | 5.3E9 | 6.9E9 | |
Mo靶 | 聚焦光斑尺寸 （μm, FWHM, Mo-Kα） | 30 | 110 | 215 | 350 | 420 |
輸出通量* （Mo-Kα, phs/s） | >2.7E7 | >6.7E7 | ＞6.8E7 | >7.6E7 | >8.3E7 | |
Ag靶 | 聚焦光斑尺寸 （μm, FWHM, Ag-Kα） | 35 | 125 | 195 | 300 | 360 |
輸出通量* （Ag-Kα, phs/s） | >1.2E7 | >3E7 | ＞5E7 | >4.9E7 | >5E7 | |
W靶 | 聚焦光斑尺寸 （μm, FWHM, W-Lα） | 55 | 205 | 290 | 390 | 450 |
輸出通量* （W-Lα, phs/s） | >7E8 | >3E9 | >4.8E9 | >5.4E9 | >6E9 | |
準直型光源典型參數
靶材 | 輸出光束直徑 （mm） | 4mm | 6mm | 10mm |
Cu靶 | 輸出通量* （Cu-Kα, phs/s） | >2.3E9 | >4.8E9 | >8.5E9 |
Mo靶 | 輸出通量* （Mo-Kα, phs/s） | >6.6E6 | >4.7E7 | >6.2E7 |
Ag靶 | 輸出通量* （Ag-Kα, phs/s） | >2.8E7 | >6E7 | >1E8 |
W靶 | 輸出通量* （W-Lα, phs/s） | >1.8E9 | >5E9 | >8.3E9 |
典型應用
掠入射小角散射（GISAXS）
單晶/粉末X射線衍射、勞埃衍射(SC-XRD、XRPD、Laue Diffraction)
（二維、三維、共聚焦）微區(qū)X射線熒光（μ-XRF）
X射線激發(fā)發(fā)光（XEOL）
半導體解決方案應用場景
薄膜堆棧的金屬層結構測量
UBM/RDL層厚和組分監(jiān)測
埃米水平的超薄層測量
Bump球的高度測量
基于TXRF的硅晶圓表面沾污測量
基于XRR的膜厚測量
外延材料晶格結構及膜厚分析
芯片和電路板失效分析
芯片和電路板制程監(jiān)控
原位透射衍射案例
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LiFePO4正極鋰電池充放電過程中的 原位衍射（測量時長：300分鐘） | NbS2正極鈉電池充放電過程中的 原位衍射（測量時長：500分鐘） | NaVO正極鋅電池充放電過程中的 原位衍射（測量時長：460分鐘） |
資料/下載
SpotLight-P_datasheet_艾格斯瑞__CN_250612.pdf
