眾星聯(lián)恒-前沿視界- 極紫外光刻解決方案提供商ESOL獲得740億韓元B輪投資
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世界或許會分化，但科學(xué)的光永不熄滅
盡管全球科技格局面臨諸多不確定性，未來的世界也許是割裂的，但是尖端技術(shù)的火種、及人類對于未知奇妙世界秩序的探索始終會在文明長河中奔涌不息。 X 射線與極紫外（EUV）技術(shù)作為突破物理極限的關(guān)鍵領(lǐng)域，正在推動基礎(chǔ)科學(xué)、半導(dǎo)體、精密檢測等行業(yè)的深刻變革。
作為深耕極紫外（EUV）及X射線核心部件領(lǐng)域的技術(shù)服務(wù)商和解決方案的探索者，眾星聯(lián)恒始終以"技術(shù)瞭望者"的視角，捕捉全球最新的行業(yè)資訊和技術(shù)前沿動態(tài)。
｜關(guān)于 ESOL｜
■ 近日，據(jù)韓國知名商業(yè)月刊BUSINESSKOREA報道，韓國一家專注于極紫外（EUV）半導(dǎo)體設(shè)備的公司 ESOL成功獲得了 740 億韓元的 B 輪投資1。具體其中的投資者包含銀行和風(fēng)險資本（DSC Investment, Industrial Bank of Korea, InterVest, Korea Development Bank, Korea Omega Investment, Mirae Asset Venture Investment, Quantum Ventures, and Yuanta Investment Korea）2。 但是截止目前ESOL并通過官方渠道宣布或確認(rèn)此消息。
■ ESOL Inc于2018年1月在韓國京畿道東灘(京畿道東灘)成立。得益于在極紫外光源、極紫外光學(xué)和系統(tǒng)工程方面的專業(yè)知識積累和極紫外光刻領(lǐng)域有著深刻的市場理解，至于為極紫外光刻生產(chǎn)的客戶提供經(jīng)濟、高效的極紫外（EUV）解決方案。
｜關(guān)于 產(chǎn)線｜
ESOL目前的產(chǎn)線涵蓋了如下4個方向:
1. SREM
(Scanning Reflection EUV Microscope)3
SREM是一套反射式掃描極紫外顯微系統(tǒng)，主要用戶極紫外空白掩膜版中多層膜缺陷的檢測等。在2022年10月，此系統(tǒng)已經(jīng)完成首臺交付。交付現(xiàn)場如下：
2. Ephase
(EUV mask phase measurement system)3
EpEphase是一款全球首創(chuàng)的極紫外掩模相位測量系統(tǒng)，用于極紫外光刻掩模（相位移掩模）的驗證。
3. EUVPTR
(EUV pellicle transmission and reflectance measurement system)3
EUVPTR是一款用戶極紫外薄膜保護罩（pellicle ）透過率和反射測試的系統(tǒng)。目前此系統(tǒng)已于2021年11月完成首臺交付。
4. EMiLE
(EUV Micro-interference Lithography Equipment)3
EmiLE是一套使用HHG光源的微干涉光刻系統(tǒng)。
｜關(guān)鍵 人物｜
CEO- Byung-guk Kim
Byung-guk Kim自 2019 年 ESOL 成立以來一直擔(dān)任首席執(zhí)行官。在加入 ESOL 之前，他在三星電子擔(dān)任光掩模開發(fā)和生產(chǎn)的項目負(fù)責(zé)人長達 20 多年。作為光掩模和極紫外掩模領(lǐng)域的專家，他涵蓋了幾乎所有的與掩模相關(guān)的研發(fā)和生產(chǎn)工作。他還曾在美國貝爾實驗室和日本半導(dǎo)體前沿技術(shù)公司負(fù)責(zé)與下一代電子束光刻和掩模檢測相關(guān)的研究項目。迄今為止，他已發(fā)表了 50 多篇論文，并擔(dān)任了f SPIE photomask technology和 Photomask Japan 的程序委員會成員。他擁有韓國延世大學(xué)的物理化學(xué)學(xué)士和碩士學(xué)位，以及美國印第安納大學(xué)凱利商學(xué)院的工商管理碩士學(xué)位。
Dong Gun Lee
Lee Dong-geun擁有韓國科學(xué)技術(shù)院（KAIST）在極紫外光源領(lǐng)域的博士學(xué)位。他在三星電子半導(dǎo)體研究所從事極紫外光刻和極紫外掩模的研發(fā)工作長達 16 年。他還與日本的極紫外光刻技術(shù)發(fā)明者金森教授進行了為期兩年的聯(lián)合研究?；谶@些積累的經(jīng)驗和技術(shù)，他在 ESOL 公司利用極紫外光和光學(xué)系統(tǒng)開發(fā)半導(dǎo)體設(shè)備。
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世界或許喧囂，但科學(xué)的腳步永遠向前。
參考信息:
1. https://www.businesskorea.co.kr/news/articleView.htmlidxno=246410
2. https://www.cbinsights.com/company/e-sol/financials
3. http://www.euvsol.com/sub/company/about.php
END
審核：凱文
編輯：Sylvia
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